SDG001、SDG002型 高纯水电导率仪
【应用领域】
SDG型系列高纯水电导率仪，用于测量高纯水电导率，其测量纯水可以达到nS/cm级，测量精确、准确、稳定。
高纯水主要应用于电子和微电子工业上，也用于食品、造纸、医药等行业。半导体器件由单电路到集成电路到超高集成电路，其用水的水质要求就越来越高。在半导体切片和研磨过程中，须用高纯水进行清洗。
【品质】
VIOLET®智创，更强、更好、更精彩！
◆ 最大允许误差：
SDG001：±0.1%FS
SDG002：±0.2%FS
保障高精度测量；
◆ 测量电导率，可实时切换电阻率；
◆ 支持功能拓展、扩展；
◆ 自动温度补偿(可以选择手动补偿)。
【功能、特点】
◆ 六键操作、光标引导；
◆ 支持N点标定(N=1～8)，支持标定设为理论值；
◆ VIOLET®智创，餍足一支电极全量程范围应用；
◆ 测量响应灵敏，平衡后“精、准、快”即时显现；
◆ 数据采集、存储符合GLP规范。库存数据可查询、转移、删除(单组)、清零(全部)，数据库可无限保存采集数据(SD卡转移输出)；
◆ 自动温度补偿(可以选择手动补偿)；
◆ 显示屏背光可调；
◆ 操作菜单可选中文、英文。
【技术参数】
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参数 |
技术指标 |
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型号 |
SDG001 |
SDG002 |
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仪器引用误差级别 |
0.1级 |
0.2级 |
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测量参数 |
电导率、电阻率、温度 |
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测量范围 |
电导率 |
0.00nS/cm～50.00μS/cm |
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电阻率 |
20.00KΩ·cm～1.000GΩ·cm |
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温度 |
(-5.0～105.0)℃ |
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分辨率 |
电导率 |
0.01nS/cm、0.001μS/cm |
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电阻率 |
0.001(KΩ·cm、MΩ·cm) |
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温度 |
0.1℃ |
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最大允许 误差 |
电导率 |
±0.1%FS |
±0.2%FS |
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电阻率 |
±0.2%FS |
±0.5%FS |
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温度 |
±0.2℃ |
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重复性 |
≤0.1%FS |
≤0.2%FS |
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电源 |
电源适配器(输入AC：220V，50/60Hz；输出DC：12V，50mA) |
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尺寸；重量 |
165×205×60(mm)；350(g) |
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【高纯水电导率】
一般称电导率小于0.1μS/cm的纯水为高纯水。在工艺条件下制备的高纯水，杂质近乎为零。高纯水电导率(或电阻率)是水质要求关健指标。
高纯水制备的典型工艺流程如下：源水→过滤→活性炭过滤器（或有机大孔树脂吸附器）→反渗透器（或电渗析器）→阳离子交换柱→阴离子交换柱→ 混合离子交换柱→有机物吸附柱→紫外灯杀菌器→精密过滤器→高纯水。
制定高纯水标准主要依据：(1).微电子工艺对水质的要求；(2).制水工艺的发展水平；(3).水中杂质监测技术的现状等。目前，在1 G(及以上)位超大规模集成电路制造中，对高纯水的技术要求很严。
电极常数标定：用标准纯水(已知电导率值)作为标定溶液，标定电极常数。标定前用高纯水把电极清洗干净，并用虑纸吸干水分，再用标定纯水适量冲洗。
十分感谢高纯水领域的工程师们在测量应用工艺方面的经验、探索和创新。
